6″25槽制程用晶舟

96,00 

制程用晶舟适用于制程间晶圆的传送,与晶舟盒搭配可存储和运输晶圆片。产品尺寸符合适配业内主流规范,也可依照客户要求进行定制化设计。

分类:

描述

6″25槽 制程用晶舟

– 静电耗散,避免晶圆受到静电损害
– 超低气体释放
– 超低杂质含量
– 耐磨可保护晶圆
– 耐高温制程

产品主要参数
晶圆最大承载量:25
D1距:14.54mm(0.57″)
槽距:4.76mm(0.19″)
槽最窄距:1.52mm(0.06″)

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